真空工程与技术 平稳

真空工程与技术是研究真空环境获得、测量、控制及其工程应用的专业，支撑半导体制造、航空航天、材料制备、表面工程和大型科学装置建设。专业涉及真空泵与管路系统、腔体设计、泄漏检测、压力测量、薄膜沉积、热流体与自动控制等内容，突出设备系统集成、工艺调试和高端制造现场解决问题的能力。学生需要熟悉高洁净、高精度和高可靠性的工业要求，能够服务关键设备自主化。

真空技术基础、工程热力学、流体力学、机械设计、真空测量与控制、薄膜沉积技术、设备可靠性、自动控制。

培养能从事真空系统设计、设备制造、工艺调试和运维管理的工程技术人才。